yy.vip易游-东方晶源申请电子束量测设备校准方法专利保证校准操作的高度一致性和可重复性

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　　国家知识产权局信息显示，东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司申请一项名为“电子束量测设备的校准方法、介质、产品及设备”的专利，公开号CN121729050A，申请日期为2025年12月。

　　专利摘要显示，本发明提供了一种电子束量测设备的校准方法、介质、产品及设备。其中上述方法包括：获取校准配方；根据校准配方确定电镜扫描图像的图像采集位置；通过电子束量测设备在检测晶圆的图像采集位置上生成电镜扫描图像；根据校准配方在电镜扫描图像中确定多个待测特征图形，并对待测特征图形进行关键尺寸量测，得到每个待测特征图形对应的坐标信息；通过坐标信息拟合得到待测特征图形沿坐标轴方向的直线；根据直线确定电子束量测设备的角度偏差，并将角度偏差补偿至电子束量测设备中。通过此方法，可以实现电子束量测设备校准方案的高度自动化，彻底消除因人员操作差异带来的结果波动，保证校准操作的高度一致性和可重复性，极大提升了校准效率。

　　天眼查资料显示，东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司，成立于2014年，位于北京市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本36401.6097万人民币。通过天眼查大数据分析，东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目49次，财产线条，此外企业还拥有行政许可18个。

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